東京計裝耐壓防爆型熱式氣體質量流量計 EP-TF-5300 / EP-TC-1000 / EP-TC-2000V

產品定位總覽

旁路分流式 耐壓防爆型熱式氣體質量流量儀表系列

EP-TF-5300：Mass Meter 質量流量計（只測流量，無調節閥）

EP-TC-1000 / EP-TC-2000V：Mass Flow Controller（MFC，流量計 + 內置控制閥，可閉環控流量）

防爆等級 Exd II CT6，可用于氫氣等易燃易爆氣體工況；區分標準壓力與高壓版本。

H-EP-TF-5300 = EP-TF-5300 高壓衍生型號，搭配 EP-TC-2000V 使用。

系統構成示意圖

一、EP-TF-5300 防爆熱式質量流量計

測量原理

旁路分流熱傳導式，直接測量標況質量流量 (Nor)，無需溫壓補償。

量程范圍（N?標定）

EP-TF-5310：5 mL/min ~ 20 L/min(nor)

EP-TF-5320：20 ~ 80 L/min(nor)

EP-TF-5330：80 ~ 300 L/min(nor)

EP-TF-5340：300 ~ 500 L/min(nor)

H-EP-TF-5300（高壓型）：同流量量程，耐壓大幅提升

核心規格

精度：±1.0% FS（25℃標準條件）

量程比：50:1

介質溫度：5～50℃

標準型最高壓力：4.9 MPa(G)

H 高壓型最高壓力：14.7 MPa(G)

接液材質：SUS316，密封 FKM/CR 氟橡膠

過程接口：Rc 螺紋、SW 卡套、法蘭（1/4"～3/4" 主流）

電氣：分體式探頭，外接TM-1400/TM-3000轉換器顯示、輸出信號

二、EP-TC-1000 防爆 MFC（標準壓力型）

EP-TF-5300 本體集成精密控制閥，實現流量自動閉環控制

適用配套：標準壓力 EP-TF-5300

最大控制量程：0～100 L/min (nor)

最高入口壓力：2.9 MPa(G)

控制區間：滿量程 2%～100%

響應時間：≤3s（達到設定值 98%）

設定信號：DC 0～5V

供電：±15V DC（+15V/?15V 雙極性供電）

東京計裝耐壓防爆型熱式氣體質量流量計

三、EP-TC-2000V 高壓防爆 MFC

高壓工況專用控制器，對應 H-EP-TF-5300

最高入口壓力：9.8 MPa(G)

流量控制范圍：200 mL/min～100 L/min (nor)

壓差工作區間：

FS＜20L/min：入口壓力 20%～80%

FS≥20L/min：入口壓力 20%～40%

防爆：Exd II CT6

供電、信號規格與 EP-TC-1000 一致（±15V DC，0~5V 設定）

EP-TC-1000 VS EP-TC-2000V 關鍵對比

表格

項目EP-TC-1000EP-TC-2000V

適配傳感器EP-TF-5300（標準壓力）H-EP-TF-5300（高壓）

最大入口壓力2.9 MPa9.8 MPa

適用場景中低壓工藝氣體高壓氫氣、高壓氮氣、高壓試驗回路

四、系統配套組件

探頭本體不能單獨使用，必須搭配轉換器：

TM-1400（DIN 導軌小型轉換器）

流量數字顯示、0~5V 輸出、外部 0~5V 流量設定

可選脈沖累積輸出、報警觸點

整套組成：EP-TF-5300 + TM-1400（測量系統）

整套組成：EP-TF-5300+EP-TC-1000 + TM-1400（流量控制系統）

五、適用介質與工況限制

? 適用：N?、Ar、He、H?、壓縮空氣、各類潔凈工藝氣體

? 禁止：帶油霧、粉塵、大量水汽、腐蝕性氣體

典型行業：高壓加氫裝置、化工防爆工藝、高壓氣體測試臺、燃料電池測試、熱處理高壓氣氛。

六、安裝與維護要點

上游標配精密過濾器（≤5μm），防止雜質進入旁路毛細管造成堵塞；

嚴格按照殼體箭頭流向，建議水平安裝；避免液態冷凝液倒流進傳感器；

不允許高壓沖擊、驟開閥門，容易損壞旁路分流元件；

零點漂移：每 6～12 個月執行一次零點校準；介質更換必須重新標定；

一旦毛細管堵塞，無法現場修復，必須返廠清洗 / 更換傳感單元；

防爆場所電纜必須采用原廠認可防爆密封接頭。

七、同品牌型號快速區分（方便選型對照）

EP-TF-5300 系列：防爆旁路式 MFM/MFC（高壓、防爆場景）

NM-2000：通用半導體小型 MFC（非防爆，常規低壓高純氣）

SRT1000：管道式 / 插入式熱式流量計（大管徑工業氣體）