東京計裝氣體質量流量計

東京計裝 Tokyo Keiso NM?2000

產品定位

原理：熱傳導式質量流量原理，直接測標況質量流量，無需溫壓補償，內置電磁閥 / 比例閥實現流量閉環調節。

一、量程范圍（標況 mL/min (Nor) / L/min (Nor)）

二、核心技術參數

精度與線性

• 精度：±1.0%FS

• 重復性：±0.2% FS

• 量程比：50:1

• 標定：5 點線性校準（數字機型標配）

流體條件

• 適用介質：N?、Ar、He、O?、壓縮空氣、H?等潔凈干燥工藝氣體

• 介質溫度：5～45℃

• 環境溫度：5～45℃

• 入口壓力：0.05～0.5 MPa (G)（參考，依量程）

• 耐壓：最高 0.6 MPa（標準機型）

• 禁止：含油、粉塵、水汽、腐蝕性氣體

電氣與信號（NM?2000 數字型）

• 供電：DC24V

• 設定信號：0～5V / 0～10V（外部給定流量設定點）

• 流量輸出：0～5V / 4～20mA

• 通訊：RS485（專用 CMS 協議，可選定制 Modbus）

• 功能：在線零點校準、自診斷、溫度補償、流量累積、故障報警

• 響應時間：＜2 秒

接液材質

東京計裝氣體質量流量計

四、典型應用場景

1. 半導體、光伏設備工藝吹掃氣、載氣控制

2. 真空鍍膜、PVD/CVD 氣體配比

3. 熱處理、氣氛爐氮氣 / 氬氣保護氣氛控制

4. 實驗室氣體配比、煙氣標定、分析儀供氣

五、安裝與保養要點（原廠規范）

1. 前置必須過濾器（2μm 以上），防止粉塵污染傳感探頭；

2. 建議水平安裝，避免冷凝液接觸傳感器；氣流方向嚴格遵循本體箭頭；

3. 每年一次零點校準；更換氣體種類必須重新標定；

4. 嚴禁液體倒流進入 MFC，極易造成傳感器損壞；

5. 長期停機保持干燥惰性氣體吹掃封存。

六、區分易混淆型號（很多人弄混）

• NM?2000：MFC 質量流量控制器（帶閥門，可控流量）

• TF?2000N：小型熱式質量流量計（只測流量，無控制閥）

• SRT1000：管道 / 插入式大管徑熱式流量計（工業大管路）

• NMX2000：金屬管轉子流量計（浮子式，不同產品）